清华大学精密仪器系（Department of precision instrument，Tsinghua University） ，是 清华大学机械工程学院 下设的院系 ，主要从事先进制造领域的人才培养与科学研究。
清华大学 精密仪器系渊源于1932年成立的清华大学工学院 机械工程 学系。1952年， 北京大学 和 燕京大学 的机械工程学系并入 清华大学 机械工程学系，并取消学院建制，分为机械制造系和动力机械系。1960年，机械制造系分为 精密仪器 及机械制造系和冶金系。1971年，精密仪器及机械制造系改称精密仪器系。1984年， 精密仪器 系更名为精密仪器与机械学系。 1996年，精密仪器与机械学系、机械工程系、汽车工程系联合成立机械工程学院。2012年12月，学校以精密仪器与机械学系的仪器科学和光学工程学科为基础，成立精密仪器系。
截至2024年3月，精密仪器系开设 测控技术与仪器 1个本科专业 ，有全国重点学科2个，博士后科研流动站2个 ，一级学科博士点2个 ，专业博士授权领域1个 ，一级学科硕士点2个 ，专业硕士授权领域1个。 截至2023年3月， 精密仪器 系有在职教职工83人， 中国工程院院士 2人。 截至2024年3月，精密仪器系有在校 博士研究生 391人，硕士研究生93人。
历史沿革
清华大学工学院机械工程学系
1932年，清华大学工学院 机械工程 学系成立，建系之初设立3个学科组，即原动力工程组、机械制造工程组、飞机及汽车工程组。
1937年－1945年抗战期间，机械工程学系随学校南迁，先后在 国立长沙临时大学 和 国立西南联合大学 办学，1946年回到北京清华园。
清华大学精密仪器及机械制造系
1952年，全国高等学校院系调整， 北京大学 和 燕京大学 的 机械工程 学系并入 清华大学 机械工程学系，并取消学院建制，同时机械工程学系分为机械制造系和动力机械系。机械制造系下设机械制造工艺、 金属切削机床 及其工具、铸造机械及铸造工程、金属压力加工及加工机械4个。1956年机械制造工艺专业与金属切削机床及其工具专业合并为机械制造工程专业，次年易名为机械制造工艺、金属切削机床及工具专业。1959年增设 精密仪器 和光学仪器专业。
1960年，机械制造系分为精密仪器及机械制造系和冶金系，精密仪器及机械制造系下设3个专业，即金属切削机床及自动化，分别负责冷热加工两类专业的教学工作，但两系仍建同一党总支。1965年， 精密仪器 及机械制造系系馆落成，精密仪器及机械制造系和冶金系完全分开。 1970年初，汽车 拖拉机 专业改为汽车专业，与冶金系各原有专业、精仪系的机械制造专业和学校机械厂合并，成立 清华大学 汽车厂。
清华大学精密仪器与机械学系
1971年，精密仪器及机械制造系改称精密仪器系。次年，精密仪器专业改为 陀螺 导航与自动控制专业。1977年，汽车专业回归动力机械系建制，机械制造专业也回归精密仪器系。 1979年，教育部直属工科重点院校专业调整后，精密仪器系下设3个专业，即机械制造工艺、设备及自动化，光学仪器，陀螺仪器及导航自动控制。
1981年，机械学、光学仪器、精密机械及仪器批准为硕士点和博士点，机械制造批准为硕士点。1984年， 精密仪器 系更名为精密仪器与机械学系，下设3个专业，即 机械设计与制造 、光学仪器、精密仪器。1988年，机械学、光学仪器、精密仪器及机械3个学科被评为全国高等学校重点学科，建立光学工程、仪器仪表2个 博士后 流动站， 摩擦学 国家重点实验室正式成立。 次年精密仪器专业和光学仪器专业合并为精密仪器仪表专业。
1992年，与自动化系、机械工程系共建的CIMS 国家工程研究中心 通过验收。1995年，与 天津大学 精密仪器 系共建的精密测试技术与仪器国家重点实验室正式成立。
1996年， 精密仪器 与机械学系、机械工程系、汽车工程系联合成立机械工程学院，之后 工程力学 系、 热能 工程系、工业工程系、基础工业训练中心也分别并入机械工程学院，并建立了光盘 国家工程研究中心 。次年增设 工业工程 专业。
2001年，学院机械制造及其自动化被评为全国高等学校重点学科。2003年，精密仪器与机械学系在深圳研究生院建立先进制造技术研究所。次年，国家工科机械基础课程教学基地通过教育部验收，增设 微机电系统工程 专业，同时按“制造自动化与测控技术专业”统一招生，前两年为基础平台课程，第三年按“ 机械工程 及自动化”“ 测控技术与仪器 ”和“微机电系统工程”三个专业方向分流培养。 2008年7月，由机械工程系和 精密仪器 与机械学系相关教师成立航空宇航制造工程二级学科，挂靠机械工程系。
2012年， 精密仪器 与机械学系按“机械工程及自动化专业（精仪系）”和“测控技术与仪器专业”两个专业招生。
清华大学精密仪器系
2012年12月，学校以 精密仪器 与机械学系的仪器科学和光学工程学科为基础，成立精密仪器系 ，原精密仪器与机械学系中 机械工程 学科教职工组建新的机械工程系。 2018年8月，教育部高校航天测运控联盟在精密仪器系成立。
办学条件
院系设置
截至2024年3月，精密仪器系开设 测控技术与仪器 1个本科专业 ，采用学分制管理和弹性学习年限的本科分类培养模式，对完成并符合培养方案要求的学生授予工学 学士 。优秀本科毕业生可直接攻读硕士、博士学位。
师资力量
截至2023年3月， 精密仪器 系有在职教职工83人， 中国工程院院士 2人，国家高层次人才称号和国家杰出青年基金获得者18人，国家青年人才称号和国家优秀青年基金获得者16人。有在职教授29人，副教授47人，具有博士学位的教师82人。另有43名在站 博士后 、131名名职员和科研辅助人员。先后聘请 中国科学院 包为民 院士、 庄松林 院士、 李天初 院士、 周志成 院士、 朱广生 院士，原 航天科工集团 集团董事长 高红卫 ， 空军工程大学 黄长强 教授，原军委科技委 隋起胜 委员，中国航天科技集团公司第五研究院院长 张洪太 研究员， 中国科学院空天信息创新研究院 副院长 樊仲维 研究员等担任兼职教授；先后聘任英国皇家科学院、皇家工程院院士Martin Sweeting、 美国 工程院院士Albert P. Pisano、美国康纳尔大学Frank Wise、德国 莱比锡大学 Attila Tárnok、英国 剑桥大学 初大平 担任杰出访问教授，聘任中国工程院外籍院士 顾敏 担任名誉教授。
教学建设
截至2024年3月，精密仪器系有国家级教学基地1个 ，开设的课程中有2门国家精品课程、3门 北京市 精品课程、1门国家精品在线开放课程、4门国家级一流本科课程。教师教师出版本科教材30余部，成套教材《控制工程基础（第3版）》《控制工程基础（第3版）习题解》以及《控制工程基础实验指导》入选教育部“十二五”普通高等教育本科国家级规划教材第二次遴选教材名单，2017年参与获得北京市高等教育教学成果奖2项，2018年参与获得国家级教学成果奖1项，2021年获得全国优秀教材 二等奖 1项。
学科建设
截至2024年3月， 精密仪器 系有全国重点学科2个， 博士后 科研流动站2个 ，一级学科博士点2个 ，专业博士授权领域1个 ，一级学科硕士点2个 ，专业硕士授权领域1个 ，2021年全国高校学科评估中精密仪器系仪器学科蝉联A+，光学学科步入A序列 ，与中国工程物理研究院 激光 聚变研究中心等建立了6个博士生暑期系级实践基地。
合作交流
2014至2018年，精密仪器系已有90余名本科生分别参加了法国工程师协会的国际交流项目、 麻省理工学院 、加州伯克利分校、 东京大学 、 明尼苏达大学 、 多伦多大学 、 普渡大学 、 赫尔辛基 工业大学、 香港科技大学 、 香港大学 等高校的 交换生 项目，共有20余名本科生参加了短期海外实习，共有24余名研究生赴美国、 日本 、英国、 德国 、 瑞士 、 澳大利亚 等国进行 联合培养 ，160余名研究生出国参加国际学术会议，130余名研究生赴中国国外大学进行短期交流或访问。
科学研究
科研平台
截至2024年3月，精密仪器系建有2个国家重点实验室，3个教育部重点实验室，1个 北京市 重点实验室，3个自主批建科研机构，3个校企联合科研机构。
科研成果
精密仪器 系科研面向国际基础前沿和国家重大需求，年承担国家重大专项、重点研发计划、重大科学仪器开发专项、国家自然科学基金项目及其它科技开发项目等百余项。20世纪70年代，研制开发了分步重复自动 照相机 、图形发生器、 光刻机 、电子束曝光机工件台等半导体设备，其中“分步相机”应用于全国100多个厂家；研制了多种 磁盘 测试仪器，促进了中国电子工业的发展。“七五”“八五”期间，光/ 热效应型可直接改写光盘技术研究获得国家发明 二等奖 。“九五”“十五”期间，微米纳米技术取得了国际水平的研究成果，获得国家级奖励7项，其中 国家发明奖 4项，科技进步奖3项。近年来研制成功中国国内第一颗 微小卫星 与第一颗纳型卫星，“十一五”“十二五”期间，获国家科技奖励7项，其中 国家技术发明奖 二等奖5项， 国家科学技术进步奖 二等奖2项。十三五期间，获国家 技术发明奖 二等奖1项、教育部技术发明奖 一等奖 1项、教育部技术发明及 自然科学奖 二等奖3项、 北京市科学技术奖 一等奖1项；国际科学技术合作奖1项、 全国创新争先奖 1项。
党的十九大以来，截至2024年3月， 精密仪器 系的科研成果获国家奖1项、 省部级奖励 4项、国际奖励5项以及其他奖励10项，共发表中科院一区论文179篇，包括Nature封面文章1篇、Science文章1篇；获授权发明专利436项。
文化传统
学系精神
精益求精，止于至善
系徽
清华 大学 精密仪器系系徽主体图案由 原子 与系办公大楼字组成，原子两侧为毛体的“清华”，数字“1932”代表系源于1932年成立的清华大学工学院机械工程学系，系英文名称围绕主体图案上方，下方为系中文名称；系徽外圆沿用了清华大学校徽的圆面。