六氟[fú]化硫是一种无机化合物，化学式为SF₆，常温常压下为无色、无臭、无毒、不燃的稳定气体，它的分子量为146.055，在20℃和0.1 MPa时密度为6.0886kg/ 立方米 ，约为空气密度的5倍。六氟化硫在常温常压下为气态，其临界温度为45.6℃，三相点温度为-50.8℃，常压下升华点温度为-63.8℃。六氟化硫分子结构呈八面体排布，键合距离小、键合能高，因此其稳定性很高，在温度不超过180℃时，它与电气结构材料的相容性和 氮气 相似。
简介
SF6气体已有百年历史，它是 法国 两位化学家Moissan和Lebeau于1900年合成的人造惰性气体，1940年前后，美国军方将其用于 曼哈顿计划 （核军事）。
SF6是 强电 负性气体，它的分子极易 吸附 自由电子而形成质量大的 阴离子 ，削弱气体中碰撞电离过程，因此其电气绝缘强度很高，在均匀 电场 中约为空气绝缘强度的2.5倍。SF6气体在t≈2000K时出现热分解高峰，因此在交流电弧电流过零时，SF6对弧道的冷却作用比空气强得多，其灭弧能力约为空气的100倍。由于SF6气体具有优良的灭弧性能和绝缘性能以及良好的化学稳定性，它从20世纪50年代末开始被用作高压断路器的灭弧介质。在超高压和特高压 断路器 中，SF6作为灭弧介质，已取代油，并已大量取代了压缩空气。
从60年代中期起，SF6被广泛用作高压电气设备的绝缘介质。SF6气体绝缘的全封闭开关设备。比常规的敞开式高压配电装置占地面积小得多，且其运行不受外界气象和环境条件的影响，因此不仅广泛用于超高压和特高压 电力系统 ，而且已开始用于配电网络(SF6气体绝缘的开关柜和环网供电单元)。SF6气体绝缘的管道输电线的优点是介质损耗小、传输容量大，且可用于高落差场合，因此常用于水电站出线，取代常规的充油电缆。SF6气体绝缘的变压器具有防火防爆的优点。这种配电变压器特别适用于人口稠密的地区和高层建筑的供电。SF6气体绝缘的超高压变压器已研制成功，全气体绝缘变电所将是变电技术发展的一个方向。
化学性质
化学性质稳定。微溶于水，溶于乙醇、乙醚，可溶于氢氧化钾。不与 氢氧化钠 、 液氨 及 盐酸 起化学的反应。300℃以下干燥环境中与铜、银、铁、铝不反应。500℃以下对 石英 不起作用。250℃时与 钠 反应，-64℃时在液氨中反应。与 硫化氢 混合加热则分解。200℃时，在特定的金属如钢及 硅钢 存在下，能促使其缓慢分解。
物性数据
1、性状：无色无味气体。
2、 熔点 （℃）：-50.8
3、 沸点 （℃）：-64（升华）
4、相对密度（水=1）：1.67（-100℃）
5、相对蒸气密度（空气=1）：6.602
6、饱和蒸气压（kPa）：2450（25℃）
7、临界温度（℃）：45.6
8、临界压力（MPa）：3.76
9、 正辛醇 /水分配系数：1.68
11、汽化热（Kg/ 摩尔 ）：23.59（升华热）
12、熔化热（Kg/mol）：5.82
13、黏度（mPa·s，气体）：0.01576
14、黏度（mPa·s，液体）：0.277
15、 折射率 （气体）：1.000783
编号系统
CAS号：2551-62-4
MDL号：MFCD00011447
EINECS号：219-854-2
RTECS号：WS4900000
毒理学数据
1、急性毒性：兔子静脉注射LD50：5790mg/kg。
2、六氟化硫是一种窒息剂，在高浓度下会呼吸困难、 喘证 、皮肤和黏膜变蓝、全身 肌肉痉挛 。吸入80%六氟化硫+20%的 氧气 的混合气体几分钟后，人体会出现四肢麻木，甚至窒息死亡。我国规定，操作间空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于6g/m³或空气中氧含量应大于18%；短期接触，空气中六氟化硫气体的允许浓度不大于7.5g/m³。六氟化硫在 药理学 上是惰性气体，低毒但对人体有窒息作用。在生活或使用过程中会分解一些痕量的有毒硫的低氟化合物和 氟氧化合物 。
3、急性毒性LD50：5790mg/kg（兔静脉）。
制备
1、直接合成法 经净化后的氟（含 HF≤0．5%）和硫反应生成六氟化硫及少量的S2F10、SF4、SF2和S2F2。经水洗、碱洗除去绝大部分杂质气体，再经热解炉分解S2F10成SF6和SF4（300-350℃），然后经碱洗进一步除去杂质，净化后的SF6气体经硅胶 及 分子筛 干燥器干燥后，制得六氟化硫产品。
将硫、 二氯化硫 、 一氯化硫 、 二硫化碳 或 硫化氢 等加入到 无水 氟化氢 中，以 为 阳极 进行 电解 即可制得六氟化硫。或氟和硫直接反应制备六氟化硫。还可以金属 氧化物 为 催化剂 于300℃下用空气氧化 四氟化硫 ，或者在500～2000℃使氟化硫热解。
2、以长约300mm直径25mm的 镍管 为 反应器 ，将盛有硫粉的镍舟置于其中，反应管与一 石英 阱连接，石英阱以 液态氧 冷却。装置的末端与一装有新脱水的KF的铁制 干燥管 相连，以隔离空气中的湿气。硫在氟 气流 中燃烧，生成的产物凝聚在 冷阱 中。随后进行纯化，使产物气化并通过10%的 氢氧化钾 热溶液（不用 氢氧化钠 ）洗涤除去其中的杂质（HF，SF2，SF4，SOF2，S2F10）。然后用 五氧化二磷 干燥产物气体，并在室温下通过 活性炭 除去S2F10。
3、使 二氧化硫 在过量的F2中燃烧可生成SF6。反应温度约650℃，产物在冷阱中凝聚，其中除SF6外主要杂质是SO2F2。纯化时将其通过装有水和热的10%KOH溶液的洗涤瓶，最后用P4O10干燥。
4.元素氟和硫直接反应法。
直接 电解 法 将硫、 二氯化硫 、 一氯化硫 、 二硫化碳 或 硫化氢 等加入到 无水 氟化氢 中，以镍为 阳极 进行电解即可制得六氟化硫。用硫化氢与 无水氢氟酸 电解时，以镍作极，铁作 阴极 ，温度为－10～20℃，电压为7～20V。 电解产物 应除去杂质; 催化 氧化法 金属 氧化物 为 催化剂 ，于300℃下，用空气氧化 四氟化硫 ，该法缺点是 收率 过低。
热解法，在500～2000℃使SF4热解，但该法的转换率及收率皆低，采用 微波 放电分解SF4亦可。氟化钴法 将 硫 或其他 硫化物 在 三氟化钴 和二氯化钴存在下与过量氟作用以制备六氟化硫。 二氧化硫 与氟燃烧法。联产法 氯氟代甲烷和六氟化硫联产，氟化碳（COF2）与六氟化硫联产。
作用用途
1、新一代超高压绝缘介质材料。作为良好的气体 绝缘体 ，被广泛用于电子、电气设备的气体绝缘。电子级高纯六氟化硫是一种理想的电子蚀刻剂，广泛应用于微电子技术领域，用作 电脑芯片 、液晶屏等大型集成电路制造中的等离子刻蚀及清洗剂。在光纤制备中用作生产掺氟玻璃的氟源，在制造低损耗优质单模光纤中用作隔离层的掺杂剂。还可用作氮准分子激光器的掺加气体。在气象、环境检测及其他部门用作 示踪剂 、标准气或配制标准混合气。在高压开关中用作灭弧和大容量变压器绝缘材料。也可用于粒子加速器及避雷器中。利用其 化学 稳定性好和对设备不腐蚀等特点，在冷冻工业上可用作冷冻剂（操作 温度 45~0℃之间）。由于对α粒子有高度的停止能力，还用于放射化学。此外还作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
2、可用于有色金属的 冶炼 和铸造工艺，也可用于铝及其合金熔融物的脱气和纯化。在微电子业中，可用六氟化硫蚀刻硅表面并去除半导体材料上的有机或 无机化合物 膜状物，并可在光导纤维的制造过程中，作为单膜光纤隔离层掺杂剂。加有六氟化硫的电流遮断器额定电压高，且不易燃烧，另外，六氟化硫还用于各种加速器、超高压蓄电器、同轴电缆和 微波 传输的绝缘介质。六氟化硫是应用较为广泛的测定大气污染的 示踪剂 ，示踪距离可达100km。六氟化硫 化学 稳定性好，对设备不腐蚀，在冷冻工业中可作为冷冻剂(操作温度在-45～0℃之间)，作制冷剂替代 氟利昂 ，对臭氧层完全没有破坏作用，符合环保和使用性能的要求，是一种很有发展潜力的制冷剂。用作电气绝缘介质和灭弧剂，测定大气污染程度的示踪剂。
3、主要用于高压开关中灭弧，在大容量变压器和高压电缆中作为绝缘材料使用。可在核粒子加速器及避雷器X射线设备中作为气体的绝缘材料，利用SF6化学稳定性好，对设备不腐蚀，在冷冻工业中可作为冷冻剂（操作温度在－45～0℃之间），SF6对α-粒子有高度的停止能力，故在放射化学中也有应用；也可作为一种反吸附剂从矿井煤尘中置换氧。
4、用作电子设备和雷达波导的气体 绝缘体 。
急救措施
吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持 呼吸道 通畅。如 呼吸困难 ，给输氧。如呼吸停止，立即进行人工呼吸。就医。
消防措施
危险特性：若遇高热，容器内压增大，有开裂和爆炸的危险。
有害燃烧产物： 氧化硫 、 氟化氢 。
灭火方法：该品不燃。切断气源。喷水冷却容器，可能的话将容器从火场移至空旷处。
泄漏应急处理
应急处理：迅速撤离泄漏污染区人员至上风处，并进行隔离，严格限制出入。建议应急处理人员戴自给 正压 式呼吸器，穿一般作业工作服。尽可能切断泄漏源。合理通风，加速扩散。如有可能，即时使用。漏气容器要妥善处理，修复、检验后再用。
处置与储存
操作注意事项：密闭操作，局部排风。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴 过滤式防毒面具 （ 半面罩 ）。远离易燃、 可燃物 。防止气体泄漏到工作场所空气中。避免与 氧化剂 接触。搬运时轻装轻卸，防止钢瓶及附件破损。配备泄漏应急处理设备。
储存注意事项：储存于阴凉、通风的库房。远离 火种 、热源。库温不宜超过30℃。应与易（可）燃物、 氧化剂 分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备。
运输信息
包装方法：钢质气瓶
运输注意事项：铁路运输时需经生物试验证明合格，根据合格证托运。采用钢瓶运输时必须戴好钢瓶上的安全帽。钢瓶一般平放，并应将瓶口朝同一方向，不可交叉；高度不得超过车辆的防护栏板，并用三角木垫卡牢，防止滚动。严禁与 易燃物 或 可燃物 、 氧化剂 等混装混运。夏季应早晚运输，防止日光曝晒。铁路运输时要禁止溜放。
环境影响
虽然六氟化硫本身对人体无毒、无害，但它却是一种温室气体。其单分子的温室效应是 二氧化碳 的2.2万倍，是《 京都议定书 》中被禁止排放的6种 温室气体 之一。
根据IPCC提出的诸多温室气体的GWP（全球变暖潜能）指标，六氟化硫的GWP值最大，500年的GWP值为32400，且由于六氟化硫高度的化学稳定性，其在大气中存留时间可长达3200年。
当今世界六氟化硫的排放量极少，对温室效应的贡献相比于二氧化碳而言完全可以忽略；但出于长久的环保和安全考虑，如何合理、正确的回收净化六氟化硫气体，是必须解决的问题。
安全信息
危险品标志：XiIrritant刺激性物品
风险术语 R37：刺激呼吸系统。
S38通风不良时，须佩戴适当的呼吸器。
危险类别：2.2
危害：Irritant
气体监测
纯净的SF6气体虽然无毒，但在工作场所要防止SF6气体的浓度上升到缺氧的水平。SF6气体的密度大约是空气的五倍。SF6气体如有泄漏必将沉积于低洼处，如电缆沟中。浓度过大会出现使人窒息的危险，设计户内通风装置时要考虑到这一情况。
在电弧作用下SF6的分解物如SF4，S2F2，SF2，SOF2，SO2F2，SOF4和HF等，它们都有强烈的腐蚀性和毒性。因此在 电力系统 GIS等应用SF6的工作场所，要加装SF6气体泄漏监测设备，SF6气体监测的主要方法有一下四种：
1）电化学技术（TGS830、TGS832）费加罗 传感器 或 卤族元素 气体传感器。
电化学技术的原理是被检测气体接触到200°C左右高温的催化剂表面，并与之发生相应的化学反应，从而产生电信号的改变，以此来发现被检测气体。电化学技术其成本低、寿命长、结构简单，可以连续工作的特点。
2）高压击穿技术。
电击穿技术是从SF6在电力上的典型应用——作为绝缘气体应用在GIS开关柜中演变而来的。其工作原理是根据SF6气体绝缘的特性，从置于被检测空气中的高压电极间电压的变化来判断空气中是否含有SF6气体。因其结构相对简单，成本低，检测精度相对高的特点。
3）红外光谱技术（IAC510）
红外光谱技术的原理是SF6作为 温室气体 ，对特定波段的红外光有很强烈的吸收特性。红外光谱技术的特点是成本高，结构复杂，灵敏度高，不受环境的影响和干扰，对环境的温度和湿度的变化所带来的检测误差很小，由于其是采用主动抽取测试点气体的原理，带来的效果是发现泄漏早，反应迅速。同时系统结构对工程实施中的布线也带来了很大的方便。
4）电子捕获ECD原理
电子捕获检测器（electron capture detector)，简称ECD。电子捕获检测器也是一种离子化检测器，它是一个有选择性的高灵敏度的检测器，它只对具有 电负性 的物质，如含 卤族元素 、硫、磷、氮的物质有信号，物质的电负性越强，也就是电子吸收系数越大，检测器的灵敏度越高，而对电中性（无电负性）的物质，如 烷烃 等则无信号。
法规信息
化学危险物品安全管理条例 (1987年2月17日国务院发布)， 化学危险物品安全管理条例实施细则 (化劳发[1992] 677号)， 工作场所安全使用化学品规定 ([1996]劳部发423号)等法规，针对化学危险品的安全使用、生产、储存、运输、装卸等方面均作了相应规定；常用危险化学品的分类及标志 (GB 13690-92)将该物质划为第2.2 类不燃气体；车间空气中六氟化硫卫生标准(GB 8777-88)，规定了车间空气中该物质的最高容许浓度及检测方法。